EUV的真正老大

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在全球半导体产业的激烈竞逐中，ASML 生产的极紫外光微影机，始终是技术制高点。然而，这项尖端设备的核心组件，却是由德国光学巨擘蔡司(Zeiss)独家供应的高精度镜组，这使得蔡司在美国试图遏制中国半导体发展的战略中，成为了一个不可忽视的关键节点。

EUV的真正老大！国蔡司独家镜组成美国「锁死」中国芯片关键王牌。

蔡司技术长史塔姆勒曾公开指出，全球约有八成的芯片采用了蔡司的光学元件制造。

蔡司半导体制造光学部门与ASML 的长期合作，早在浸润式深紫外光微影机时代就奠定了基础。凭借这项技术，两家公司击败了日系的尼康(Nikon)和佳能(Canon)，共同成为了微影设备市场的龙头，并成功延续了摩尔定律。

无论是用于驱动汽车、手机、家电或工业设备的芯片，从成熟制程到最尖端制程，蔡司的镜头组件都是ASML 微影设备中不可或缺的独家核心。

蔡司的工艺水准达到了令人难以置信的程度。据悉，如果将制造光刻机的镜组等比例放大到德国国土的面积，其平整度误差仍能维持在0.1 毫米之内。蔡司副总裁Frank Rohmund 透露，他们已累积了超过1,500 项与EUV 相关的技术专利。

这道由专利和精密工艺筑成的技术高墙，使任何其他企业想绕过蔡司自行制造EUV 微影机的镜组，几乎是微乎其微的希望。即使侥幸绕开部分专利，也难以达到蔡司产品的顶级技术水准，进而无法用于先进芯片的量产。

EUV 微影技术的研发历史已超过二十年，其成功不仅是单一公司的成就，更是全球化合作的典范。蔡司与ASML 的背后，有美国资本、德国政府以及欧盟等多元势力的共同支持。其庞大的供应链涵盖了全球超过1,200 家供应商，凸显了全球分工与顶级资源整合才是光刻机和芯片产业的核心发展模式。

此外，为了确保极致的制造品质，蔡司为其核心元件制造建立了独立的高洁净工厂。普通室内空气中每立方公尺约有上亿个悬浮微粒，而蔡司的洁净室能将灰尘数量大幅减少至3,500 个左右，并配备空气过滤和净化装置，确保设备运作的绝对精确度。

蔡司半导体部门拥有超过7,500 名专业员工，其中约1,500 人投入最新的High NA-EUV 微影机研发。其人才来自全球各地，涵盖了配镜师、机械工程师、机电整合工程师等顶尖人才。这种深度绑定的人才体系和企业文化，为蔡司创造了难以模仿的竞争优势。

面对国际间的地缘政治角力，过去曾仰赖全球化供应链的中国及其他地区，如今正被迫思考自主研发和国产化的道路。

虽然台湾在光学元件领域发展较早，例如早在1950 年代就有相机厂制造国产相机的初步经验，但要达到微影机核心镜组所需的极致精度，仍是巨大挑战。然而，台湾光学厂商如大立光、玉晶光等，正持续在手机镜头、显微镜、医疗设备等领域进行自主技术猛攻，这与蔡司早年的发展路径不谋而合。

精密元件的制造是确保半导体产业自主性必须面对的核心问题，唯有在全球化合作与自主技术研发两条腿走路，才能在未来的科技竞争中立于不败之地。

今天是《半导体行业观察》为您分享的第4188期内容，欢迎关注。

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